種類(lèi)：

　　石英管大致可分為以下幾種:透明石英管(外徑1.5mm~300mm)、濾紫外石英管、彩色石英管等。

　　石英管的選用

　　閉管擴(kuò)散要用石英管，這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫，而且在1800℃以上時(shí)會(huì)變得很柔軟且很粘，能做成所需要的形狀。另一方面，由于石英管采用的原料是特級(jí)水晶石，純度高，含有害的雜質(zhì)很少，對(duì)于擴(kuò)散、配制合金等能保證質(zhì)量，因此閉管擴(kuò)散常采用石英管。

　　石英管的制備:根據(jù)擴(kuò)散硅片直徑的不同，來(lái)選擇石英管的內(nèi)徑、壁厚等參數(shù)。

　　石英管的檢測(cè)方法：

　　(1)檢測(cè)石英管的阻值

　　石英管可以通過(guò)萬(wàn)用表檢測(cè)其阻值，將萬(wàn)用表?yè)跷徽{(diào)至"蜂鳴擋"，將紅黑表筆分別搭在石英管的兩端，如下圖所示，此時(shí)萬(wàn)用表的蜂鳴器應(yīng)當(dāng)發(fā)出響聲，并且指針應(yīng)當(dāng)指向零。若檢測(cè)時(shí)，萬(wàn)用表蜂鳴器無(wú)聲音發(fā)出，并且指針指向無(wú)窮大時(shí)，說(shuō)明石英管的內(nèi)部發(fā)生損壞。

　　(2)檢測(cè)石英管的供電電壓

　　檢測(cè)石英管的供電電壓時(shí)，首先將萬(wàn)用表的量程調(diào)至"交流250V"電壓擋，紅黑表筆分別搭在石英管的供電端。此時(shí)觀察萬(wàn)用表的讀數(shù)，若在交流220V左右，則說(shuō)明石英管的供電電壓正常。